・製品概要

新規光塩基発生剤 EIPBG®
  1. 現在、光によるレジストパターン形成や、光反応開始剤 などに使用されている光感応性物質として、 光酸発生剤や光ラジカル開始剤がよく研究され、汎用されています。 しかし、酸発生剤を用いる系では周辺金属の腐食の問題があったり、ラジカル開始剤を用いる系では、 原理的に化学増幅型の機構が不適であるという問題があります。そこで第3の活性種として 紫外線照射により有機塩基化合物を発生する、光塩基発生剤への期待が高まって参りました。

     この度、弊社が開発いたしました光塩基発生剤 EIPBG®は既知の光塩基発生剤と比べ、 発生する塩基が、通常のアミン類と比べて飛躍的に大きな塩基性を持つように、新しい構造の塩基源を用いております。 また、効率のよい光反応が進行する系を設計・採用しております。
     
    これらの工夫によって、光塩基発生の鋭敏さと、発生する塩基の塩基性度を革新的に高めることに成功いたしました。


         
  2. 弊社が取り扱う各種塩基発生剤の種類
  3. EIPBG®EITMG® EINAP®NMBC®その他
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